招标公告（74）

我校材料中心需采购下列设备：

一、等离子体增强化学气相沉积系统
技术要求：
1．极限真空度：≤6.6×10-5 Pa
2．漏 率：≤10-6Pa.l/s（动态）
3．工作真空度：1～100Pa
4．工作气体流量：10～100SCCM
5．样品尺寸Φ100mm，可加热，温度：室温-----600℃。

二、快速热处理设备
技术性能
1. 温度范围: 150 – 1300 C
2. 升温速率: 100-180 C/ s
3. 密封石英腔内面尺寸: 210X140X14 mm
4. 温度稳态稳定性: +/- 2 C
希望参加投标的单位于2006年10月30日上午11:30前把标书（正、副本各一本）交我校物资供应部（杭州市下沙高教园区西区2号大街5号浙江理工大学行政楼232室，电话：86843155）联系。

物资供应部
2006年 10月24日